日前，由沈陽新松機(ji)器(qi)人(ren)自動(dong)化股份(fen)有限公司承(cheng)擔(dan)的國家科技重大專項“IC裝備機(ji)械(xie)手及硅片傳輸系(xi)(xi)統系(xi)(xi)列產(chan)(chan)品(pin)研發(fa)與(yu)產(chan)(chan)業化”項目(mu)在(zai)沈陽(yang)順利通過技術和財(cai)務(wu)驗收。項目(mu)開發(fa)的兩(liang)大(da)類(lei)直(zhi)驅(qu)型真空機(ji)械(xie)手產(chan)(chan)品(pin)、新(xin)型大(da)氣機(ji)械(xie)手系(xi)(xi)列化產(chan)(chan)品(pin)、面(mian)向(xiang)光刻(ke)機(ji)硅片傳輸的單(dan)雙臂機(ji)械(xie)手產(chan)(chan)品(pin)和面(mian)向(xiang)刻(ke)蝕機(ji)、CVD（化學氣(qi)相沉積(ji)）、PVD（物(wu)理(li)氣相沉積）和CMP（化學機械拋(pao)光）等整(zheng)機設備(bei)配套的EFEM（設(she)備前端模(mo)塊）系列化產品，可以廣泛應用在集(ji)成電路的多個(ge)領(ling)域(yu)，是(shi)我(wo)國(guo)在集(ji)成電路領(ling)域(yu)取得的一(yi)項重大(da)研(yan)究成果，徹底打破了國(guo)外的技術封鎖。

　　該項目由沈陽新松機器人自動化股份有限公司聯合上海交通大學、哈爾濱工業大學等國內著名高校采取產學研合作方式，進行聯合攻關。通過攻克真空（超凈）環境下的大間隙直接驅動電機和控制、多軸同軸直接驅動與真空隔離、高真空與高潔凈環境下精密伺服控制、真空機械手新構型等共性關鍵技術，成功研制出了真空機械手產品、新型大氣機械手系列化產品、面向光刻機硅片傳輸的單雙臂機械手產品以及EFEM系列化產品。并在北京北方微電子設備有限公司、沈陽芯源微電子設備有限公司等企業完成了示范應用，實現了IC裝備機械手及系統裝備的國產化。項目執行周期內，累計實現各類機械手、EFEM等設備銷售收入16042.27萬元。

該項目是我國在集成電路領域，在潔凈物料自動傳輸方向進行的一次嘗試和探索，項目研發的具有自主知識產權的IC裝備機械手及硅片傳輸系統不僅滿足了本國企業的迫切需求，同時打破了國外IC裝備企業在國內的壟斷地位，降低了晶圓制造企業生產成本，實現了半導體行業物料搬運和自動化裝載系統的國產化，進而推動了我國IC裝備產業的發展，并帶動整個裝備制造的產業鏈的發展，加速了我國裝備制造業向高端領域進軍。

來源：遼寧省科技廳